當(dāng)前位置：首頁 » 慧騰新聞中心 » 應(yīng)用案例 » 空氣彈簧 » 【空氣彈簧減震器】之半導(dǎo)體光刻機(jī)配套減震設(shè)備的必要性及差異分析

【空氣彈簧減震器】之半導(dǎo)體光刻機(jī)配套減震設(shè)備的必要性及差異分析

來源：慧騰查看手機(jī)網(wǎng)址

掃一掃!

【空氣彈簧減震器】之半導(dǎo)體光刻機(jī)配套減震設(shè)備的必要性及差異分析

掃一掃!

瀏覽：- 發(fā)布日期：2025-11-06 16:26:14【大中小】

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，光刻機(jī)作為核心設(shè)備，其精度直接決定芯片良率。以先進(jìn)制程為例，光刻機(jī)需實(shí)現(xiàn)納米級定位精度，任何微小振動均可能導(dǎo)致光刻圖案偏移、套刻誤差超標(biāo)。因此，配套減震設(shè)備成為保障生產(chǎn)穩(wěn)定性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，而FABREEKA空氣彈簧減震器正是針對此類高精度場景設(shè)計(jì)的專業(yè)解決方案。

光刻機(jī)運(yùn)行時，地面振動、設(shè)備自身機(jī)械運(yùn)動、人員走動甚至外部交通振動均會通過基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)傳遞至設(shè)備。研究表明，當(dāng)振動幅度超過0.5μm時，光刻精度將顯著下降。未配備減震設(shè)備的光刻機(jī)，其成像系統(tǒng)易受振動干擾，導(dǎo)致曝光圖形模糊、線寬均勻性變差，直接引發(fā)芯片良率降低，嚴(yán)重時可造成設(shè)備停機(jī)或關(guān)鍵部件損壞。

FABREEKA空氣彈簧減震器通過空氣彈簧的彈性變形實(shí)現(xiàn)振動隔離，其核心原理在于利用壓縮空氣的阻尼特性吸收低頻振動，同時通過精確調(diào)壓確保設(shè)備水平穩(wěn)定。該減震器可有效隔離1-50Hz范圍內(nèi)的振動，減震效率達(dá)90%以上。在光刻機(jī)應(yīng)用中，安裝減震設(shè)備后，設(shè)備振動幅度可控制在0.1μm以內(nèi)，確保曝光過程中鏡頭與晶圓的位置穩(wěn)定性。

FABREEKA空氣彈簧減震器

對比安裝與未安裝減震設(shè)備的效果差異顯著：未安裝時，光刻機(jī)需頻繁校準(zhǔn)，生產(chǎn)節(jié)拍受振動影響波動較大，芯片良率可能因振動導(dǎo)致5%-10%的波動；安裝減震設(shè)備后，光刻精度提升，良率穩(wěn)定性提高，設(shè)備維護(hù)周期延長，長期運(yùn)行成本降低。

此外，FABREEKA空氣彈簧減震器還具備自適應(yīng)調(diào)平功能，可實(shí)時補(bǔ)償?shù)孛娌痪鶆虺两?，確保光刻機(jī)始終處于最佳工作姿態(tài)。其模塊化設(shè)計(jì)便于快速安裝與維護(hù)，適配不同型號光刻機(jī)的需求。

綜上，半導(dǎo)體光刻機(jī)配套減震設(shè)備不僅是精度保障的需要，更是提升生產(chǎn)效率、降低綜合成本的關(guān)鍵措施。通過科學(xué)選用專業(yè)減震解決方案，可顯著提升半導(dǎo)體制造的可靠性與經(jīng)濟(jì)性，為高精度制造提供堅(jiān)實(shí)支撐。

下一篇：已經(jīng)是最后一篇了上一篇：抗振等級VC-A/B/C/D：精密設(shè)備振動防護(hù)的分級標(biāo)準(zhǔn)與應(yīng)用解析

【空氣彈簧減震器】之半導(dǎo)體光刻機(jī)配套減震設(shè)備的必要性及差異分析

應(yīng)用案例

合作伙伴

Robotiq電動夾爪

上銀機(jī)械臂

Fabreeka空氣彈簧

銀泰直線導(dǎo)軌滑塊

電缸