CKD減壓閥結(jié)構(gòu)與分類

可與真空過濾器VFA3000或VFA4000進(jìn)行模塊化連接。

采用基于噴嘴擋板的先導(dǎo)壓力控制方式。

采用禁油規(guī)格•不銹鋼閥體，適合半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置使用的清潔空氣、N2的壓力控制。另外，由于緊湊•大流量，因此適合空氣（N2）吹氣。

實施清洗（氣體接觸部分），在潔凈室內(nèi)進(jìn)行從組裝到包裝的。

對邊50mm的緊湊尺寸，并實現(xiàn)了0.8?/min的大流量。

（1次壓力0.7MPa、設(shè)定壓力0.5MPa、壓力降0.1MPa時的流量）

減壓閥是通過調(diào)節(jié)，將進(jìn)口壓力減至某一需要的出口壓力，并依靠介質(zhì)本身的能量，使出口壓力自動保持穩(wěn)定的閥門。從流體力學(xué)的觀點看，減壓閥是一個局部阻力可以變化的節(jié)流元件，即通過改變節(jié)流面積，使流速及流體的動能改變，造成不同的壓力損失，從而達(dá)到減壓的目的。然后依靠控制與調(diào)節(jié)系統(tǒng)的調(diào)節(jié)，使閥后壓力的波動與彈簧力相平衡，使閥后壓力在一定的誤差范圍內(nèi)保持恒定。

無潤滑脂規(guī)格、緊湊、省空間型的小型直動減壓閥。           

適用于需要細(xì)小工件吸附系統(tǒng)或檢查系統(tǒng)等的壓力調(diào)整的回路中。緊湊、大流量、真空減壓閥。

同級尺寸（□50×90），同級流量 （200?/min(ANR)）。

通過減壓閥旋鈕的頂部安裝，操作性也得到了提高。設(shè)計的自由度也得到了提高。

可單手進(jìn)行壓力調(diào)整，一按即可鎖定。壓力設(shè)定時，旋鈕也可輕松手動操作。

擰松面板安裝用螺母后，螺母自身起到千斤頂功能，可輕松拆下旋鈕。安裝到面板時，可使用螺母進(jìn)行固定。安裝L形支撐件時也同樣可以。

尺寸統(tǒng)一，選擇項、產(chǎn)品種類豐富，系統(tǒng)構(gòu)成應(yīng)對簡便。

通過變更滑鍵的組裝方向，可任意從鎖定型變更為非鎖定型。

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